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EB-350

製品種別:EB蒸着装置  製品種別詳細:EB蒸着装置

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概要 本装置は、蒸着室、ロードロック室の2室で構成されています。
3kW5連EBガンを付属しておりますので、多種の材料を連続して蒸着させることができます。
EBガンはUHV対応ですので、超高真空下での蒸着が可能です。
仕様 ■ 蒸着チャンバー
1.到達圧力 1×10-7Pa以下
2.チャンバーサイズ φ406×600程度
3.基板ホルダー
サイズ : φ5インチ
加熱温度 : 最高 300℃
冷却機構付
4.蒸発源
3kW5連型EBガンルツボ容量 : 2cc×5
5.膜厚モニター
6.排気系 TMP
■ LLチャンバー
7.到達圧力 6.5×10-6Pa以下

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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