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EB-680

製品種別:EB蒸着装置  製品種別詳細:EB蒸着装置

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概要 本装置は、蒸着室、ロードロック室の2室で構成されています。
外部制御装置により、8連の電子銃蒸発源の自動交換を含め、複数の蒸着材料を任意の厚み、蒸着速度、順序で蒸着できるようプログラム制御されています。
仕様 ■ 成膜室
1.到達圧力 3×10-6Pa以下
2.チャンバーサイズ 内寸 W700×D700×L600
3.基板ホルダー
サイズ : 100mm×100mm
冷却機構 : 最低温度130K
4.蒸発源
6kW8連型EBガンルツボ容量 : 10cc×8
5.膜厚モニター
6.排気系 TMP
■ LL室
7.到達圧力 3×10-6Pa以下

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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