製品案内

VX-20

製品種別:真空蒸着装置  製品種別詳細:簡易薄膜コーティング装置

製品写真製品写真

概要 あらゆる機構を簡略・小型化し、Kセル/EBガン/スパッタ源等を組み合わせることにより、さまざまな薄膜作製ができるよう開発された装置です。
仕様 ■ 本体
1.到達圧力 10-5Pa台
2.排気系 TMP210L/sec  R.P162L/min
■ オプション
3.加熱機構付基板ホルダー 最高温度 500℃
4.サイドエントリー型セル ルツボ容量 1cc / 最高加熱温度 1300℃
5.スパッタ源 2インチ

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

製品案内に戻る
 - AmigoDatabase