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VX-30

製品種別:真空蒸着装置  製品種別詳細:真空蒸着装置

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概要 小型で広い設置面積を必要とせず、構造を簡略化して操作しやすいように考慮され、しかもMBE、MOMBEによるエピタキシー膜の生成など、高度なパフォーマンスが期待できる優れた真空装置です。
仕様 ■ メインチャンバー
1.到達圧力 10-6Pa台
2.基板寸法 2インチ
■ オプション
3.基板加熱温度 ランプヒーター(〜500℃)、Taヒーター(〜800℃)
4.排気系 TMP210L/sec  R.P162L/min
5.横型セル ルツボ容量 1cc / 最高加熱温度1600℃(3分間)

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