製品案内

SE-5D

製品種別:真空蒸着装置  製品種別詳細:真空蒸着装置

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概要 簡単にアルミニウムを蒸着できる卓上型の蒸着装置です。
バスケットタイプの蒸発源で、基板は支柱上のプレートに取付けられており、高さは任意に変えられます。 排気系はTMPとR.Pを併用しておりますので、短時間で高真空が得られます。
仕様 1.到達圧力 1.33×10-4Pa
2.チャンバーサイズφ216mm×200mmH
3.チャンバー材質 パイレックス
4.蒸発源
抵抗加熱(バスケットタイプ)シャッター、高さ調整機構付
5.出力電圧 12V 50A
6.真空計 フルレンジゲージ
7.排気系 TMP70L/sec  R.P50L/min(OMT付き)
8.オプション 試料ホルダー (サイズは任意に指定)
9.試料ホルダー (サイズは任意に指定)

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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