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SE-5A

製品種別:真空蒸着装置  製品種別詳細:真空蒸着装置

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概要 本装置は、簡単に金、アルミニウム等を蒸着できる簡易型の蒸着装置です。
バスケットタイプの蒸発源で、基板は支柱上のプレートに取付けられており、高さは任意に変えられます。基板は500℃まで加熱でき、温度調節計により温度制御を行います。
排気系はTMPとR.Pを併用しておりますので、短時間で高真空が得られます。
仕様 1.到達圧力 1.33×10-4Pa
2.チャンバーサイズφ220mm×200mmH
3.チャンバー材質 パイレックス
4.基板ホルダー
加熱温度 : 300〜500℃
温度測定素子 : 熱電対K
試料寸法 : 10〜50mm
5.蒸発源
抵抗加熱(バスケットタイプ)シャッター、高さ調整機構付
6.出力電圧 12V 50A
7.真空計 フルレンジゲージ
8.排気系 TMP70L/sec  R.P50L/min (OMT付)

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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