SE-5A
| 製品種別：真空蒸着装置 製品種別詳細：真空蒸着装置 |
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| 概要 | 本装置は、簡単に金、アルミニウム等を蒸着できる簡易型の蒸着装置です。 バスケットタイプの蒸発源で、基板は支柱上のプレートに取付けられており、高さは任意に変えられます。基板は500℃まで加熱でき、温度調節計により温度制御を行います。 排気系はTMPとR.Pを併用しておりますので、短時間で高真空が得られます。 |
| 仕様 | １．到達圧力 1.33×10-4Pa ２．チャンバーサイズφ220mm×200mmH ３．チャンバー材質 パイレックス ４．基板ホルダー 加熱温度 ： 300〜500℃ 温度測定素子 ： 熱電対K 試料寸法 ： 10〜50ｍｍ ５．蒸発源 抵抗加熱（バスケットタイプ）シャッター、高さ調整機構付 ６．出力電圧 12V 50A ７．真空計 フルレンジゲージ ８．排気系 TMP70L/sec R.P50L/min （OMT付） |
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