製品種別:真空蒸着装置 製品種別詳細:真空蒸着装置 |
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概要 | 本装置は、簡単に金、アルミニウム等を蒸着できる簡易型の蒸着装置です。 バスケットタイプの蒸発源で、基板は支柱上のプレートに取付けられており、高さは任意に変えられます。基板は500℃まで加熱でき、温度調節計により温度制御を行います。 排気系はTMPとR.Pを併用しておりますので、短時間で高真空が得られます。 |
仕様 | 1.到達圧力 1.33×10-4Pa 2.チャンバーサイズφ220mm×200mmH 3.チャンバー材質 パイレックス 4.基板ホルダー 加熱温度 : 300〜500℃ 温度測定素子 : 熱電対K 試料寸法 : 10〜50mm 5.蒸発源 抵抗加熱(バスケットタイプ)シャッター、高さ調整機構付 6.出力電圧 12V 50A 7.真空計 フルレンジゲージ 8.排気系 TMP70L/sec R.P50L/min (OMT付) |
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