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EB-5

製品種別:EB蒸着装置  製品種別詳細:電子線MBE

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概要 ピアス型電子銃を用いて、電子ビームを直線的に材料へFocusし、溶幅、蒸発させるタイプの蒸着源を採用しましたので、小さな電気量にて酸化物を含めて、高融点材料まであらゆる材料を使用することができます。
仕様 ■ 成膜室
1.到達圧力 10-7Pa
2.基板寸法 1インチ
3.基板加熱温度 1000℃
4.ヒーター材質 Taヒーター
5.排気系 TMP345L/sec  R.P162L/min
■ 集束EBガン
6.印加電圧 〜15kV、0.1A
7.フィラメント ヘアピン型  Focus、Sweep付
■ ロードロック室
8.到達圧力 10-4Pa
9.排気系 TMP60L/sec  R.P90L/min
■ オプション
10.RHEED / ラジカル源 / セル / EBガン / スパッタ源

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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