製品案内

EV-100

製品種別:MBE  製品種別詳細:液体窒素冷却MBE

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概要 固体セルによる半導体デバイスの研究生産に、又ガスセルと組み合わせてMOMBEとしてもご利用になれる標準型MBE装置です。
仕様 ■ 成膜室
1.到達圧力 10-8Pa
2.基板寸法 2インチ
3.基板加熱温度 1000℃
4.ヒーター材質 Taヒーター
5.排気系 IP500L/sec
■ ロードロック室
6.到達圧力 10-5Pa
7.排気系 TMP210L/sec  R.P162L/min
■ オプション
8.RHEED / ラジカル源 / セル / EBガン

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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