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EV-50

製品種別:MBE  製品種別詳細:液体窒素冷却MBE

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概要 ZnSe系・GaN系を問わず、青色LED・LDの研究開発の為、経済的で効率の良い実験装置として開発されたMBE装置です。 ファイバースコープを基板下面に装着することにより、カソードルミネッセンススペクトラムをその場で、且つ室温で観察できるようになりました。
仕様 ■ 成膜室
1.到達圧力 10-8Pa
2.基板寸法 2インチ
3.基板加熱温度 1000℃
4.ヒーター材質 Taヒーター
5.排気系 TMP250L/sec  R.P162L/min
■ ロードロック室
6.到達圧力 10-4Pa
7.排気系 TMP60L/sec  R.P90L/min
■ オプション
8.RHEED / ラジカル源 / セル / EBガン / スパッタ源

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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