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EW-100

製品種別:MBE  製品種別詳細:水冷MBE

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概要 液体窒素を使用せず、しかも自動ベーキングシステムと操作のCPU化を図った全く新しいコンセプトのもとに開発された装置です。
熱源をチャンバー内に配し、内側から加熱することにより効果の高いベーキングができる構造です。 夕方作業完了後スイッチボタンを押すだけで、翌朝には再び超高真空に回復し、すぐに作業にとりかかることができます。
仕様 ■ 成膜室
1.到達圧力 10-8Pa
2.基板寸法 2インチ
3.基板加熱温度 1000℃
4.ヒーター材質 ランプヒーター / Taヒーター
5.排気系 TMP1400L/sec  R.P345L/min
■ ロードロック室
6.到達圧力 10-5Pa
7.排気系 TMP210L/sec  R.P162L/min
■ オプション
8.RHEED / ラジカル源 / セル / EBガン / スパッタ源

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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