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EW-3

製品種別:MBE  製品種別詳細:水冷MBE

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概要 従来のEW-5型より更に小型の水冷式MBE装置です。
小型でありながらRHEEDも取り付き、MBEとしての基本性能はすべて満たされております。 
更に豊富なコンポーネンツと組み合わせることにより、いろいろな薄膜作製ができる様になります。
仕様 ■ 成膜室
1.到達圧力 10-7Pa
2.基板寸法 1インチ
3.基板加熱温度 800℃
4.ヒーター材質 ランプヒーター
5.熱電対 WRe (5-26)
6.排気系 TMP345L/sec  R.P162L/min
■ ロードロック室
7.到達圧力 10-4Pa
8.排気系 TMP60L/sec  R.P90L/min
■ オプション
9.小型RHEED / ラジカル源 / セル / 3kWEBガン / スパッタ源

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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