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IB-7

製品種別:スパッタリング装置  製品種別詳細:有機蒸着装置

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概要 本装置は貴金属よりもスパッタ率の小さなターゲット(鉄、ニッケル、クロム、ジルコニウム等)が使用できます。
仕様 真空チャンバー φ150×H140oのパイレックスガラス製
到達圧力 10-3Pa台
試料台寸法 φ50o
ターゲット寸法 φ50mm
排気系 TMP、RP
所要電源 AC100V
ターゲット材質 Au、Pt、Pt-Pd、Fe、Ni、Cr、ZnAl

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