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*新製品*セレクティブCoスパッタ装置 ESC-330W

製品種別:スパッタリング装置  製品種別詳細:スパッタ装置

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概要 本装置はUHV対応のスパッタ装置で、最大の特徴は2つのスパッタカソードで最大6種類のターゲットでのスパッタ可能で同時スパッタの組み合わせも9通りが可能。
構造は3枚のターゲットを搭載したトレーをスライドさせ任意のターゲットをスパッタします。
基板に対しては反対の位置に同様の機構とスパッタカソードを設置することでCoスパッタが可能になります。
*特許出願中
仕様 (スパッタ室)
1.到達圧力 1.5×10-6Pa(ベーキング後)
2.ターゲット 2インチφ〜3インチφ(特注で6インチφまで製作可能)
3.基板サイズ 1インチφ〜2インチφ(特注で6インチφまで製作可能)
4.基板加熱 max800℃(オプションで1000℃対応可能)
5.排気系 TMP、RP
6.ガス供給 MFC制御
(ロードロック室)
1.到達圧力 1.5×10-6Pa(ベーキング後)
2.排気系 TMP、RP
3.搬送機構 手動式トランスファーロッド

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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