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EP-6

製品種別:真空蒸着装置  製品種別詳細:MBE

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概要 装置と電源が一体型でコンパクトです。
前扉方式なので操作性に優れています。
他チャンバーやグローブBOXとの接続ができますので、拡張性があります。
仕様 ■到達圧力 10-5Pa台
■基板ホルダー φ1インチ基板対応
■蒸発源 無機セル ×2式
有機セル ×2式
■膜厚モニター 2元表示

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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