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EGN-100 <恒環境新素材蒸着装置>

製品種別:有機蒸着装置  製品種別詳細:BONDING SYSTEM

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概要 本装置は本格的な蒸着装置を、グローブBOX内にて使用可能な様、一体化しました。

蒸着後の基板の取出しや蒸着源への試料充填を酸素や水分等に曝されず行える為、有機材料等の実験に最適です。

蒸着チャンバーの他に、測定機器やスピンコーター等をグローブBOX内に設置可能な為、成膜から封止、簡単な評価まで一貫した雰囲気で行えます。
仕様 ■ 蒸着チャンバー
1.到達圧力 10-5Pa台(下部チャンバー)
2.チャンバーサイズ 上部チャンバーφ305
下部チャンバーφ305
3.基板ホルダー サイズ:φ2インチ
4.基板加熱冷却温度 −20℃〜200℃
5.蒸着源 Kセル(ルツボ容量1cc×2)
抵抗加熱蒸着源他
<グローブBOX> 循環精製器付


詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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